比尔图文市,荷兰——2006年01月12日—— ASM International N.V.今天宣布其为全球首家将300 mm 外延设备销售到中国大陆的公司。预定于2005年第四季度运送的这台设备是由中国最大的半导体相关应用研究院之一,有色金属研究总院 (GRINM)所订购。

“即将送入我们北京工厂的Epsilon® 3200系统虽然最初应用于12英寸硅外延晶片,但已确定将会扩展到锗化硅,应变硅和其他新领域的研究,”GRINM的主席屠海令博士表示,“此外,在我们的设备选型选择过程中,ASM在某些世界上最先进的IC技术方面提供达到最新技术发展水平的工艺,这种良好表现是我们非常看重的。”

Epsilon 3200主要用途是硅和锗化硅的外延生长。这包括了在先进的互补式金属氧化晶体管及在绝缘体上硅晶片技术的应变硅整合所使用的嵌入式及高架式源极和漏极结构所需的覆盖式和选择式外延生长。

“ASM在中国外延市场已有超过60%的占有率,”ASM Epsilon Business Unit Manager,Dr. Armand Ferro说,“GRINM成为我们的客户对ASM是一个巨大的激励,并在我们对中国市场的策略中扮演了重要的角色。尤其是因为GRINM有能力获得广泛的政府资助及先进的科学和工程项目, 并有能力完成大型的商业项目。

“基于300 mm Epsilon在GRINM的采用和先进应用的起步和发展,ASM 希望继续进入中国的300 mm市场,并继续成为该区域的主要外延设备供应商。” Dr. Ferro总结说。