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| 晶圆研磨系统 | |||||
作者：佚名 文章来源：不详 点击数： 更新时间：2008-01-08  |
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3770系列凝聚颗粒计数器有四种可选模式,系统主要包括以下特点：提供USB接口及以太网接口;支持多色彩显示;允许Internet数据载入;配备一套除水系统。最高精度模式可检测到的颗粒直径小于2.5纳米,在其余的几种模式下,分别可检测到直径为4纳米和10纳米的颗粒。气溶胶的流动速度为50-1000 cm3/min。 TSI Inc. www.particle.tsi.com.
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